（多通道光源成像图）

系统功能特点

    √ 光源采用单向散射透镜技术和准直背技术，消除LED颗粒效应
    √ 相机采用12K TDI相机，超高SNR与相应范围
    √ 镜头选用大光圈 低畸变 高MTF工业镜头

（显微组合图）

颗粒检查设备：
    1）使用灰度标定法检测玻璃基板表面的颗粒物。
    2）暗场照明，消除光照本身不均匀对检测的影响。
    3）BOSCH洁净室专用引动器，带来高精度、高加速度、高速度驱动能力。
边缘检测设备：
    1）反射式成像，单一相机完成磨边所有面检测。
    2）明场照明方式，有效发现各类型缺陷。
    3）清晰度评价函数，准确区分缺陷层次。
面检/复检设备：
    1）明场反射通道、尺寸通道、变形通道结合的三通道成像系统。使用频闪技术解决相机复用问题。
    2）检测点采用精密气浮，确保基板传输稳定。
    3）带自动增益控制与特制透镜技术的光源，确保面检成像清晰。