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设备主要参数          V-SR-100                 V-SR-200
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测量方式            可见 VIS，反射R       紫外UV， 可见 VIS，反射R
波长范围              380--1050nm             250--1050nm
厚度测量             15nm～250um              2nm--200um
光源                       钨卤灯                    钨卤灯+氕氘灯
重复精度                                  0.1 nm
测量时间                                  ＜ 1秒
准确性                                2nm  或＜0.5%