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RPD专用ITO靶

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2018-08-01 17:42
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长沙壹纳光电材料有限公司

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产品详情

主要用途

RPD蒸镀制备ITO导电膜


物理及化学特性

化      学      式:                                  In2O3/SnO2

外                观:                                  绿色块状陶瓷

晶     粒       度:                                  5~15µm

电     阻       率:                                  1.2×10-4Ω·cm

线   胀  系   数:                                  5.8×10-6K-1

相  对   密   度:                                  60±2%

纯                度:                                  ≥99.99%


产品检测方法

晶      粒      度                                  扫描电镜(SEM)观察。

纯                度:                                  ICP—AES分析测试杂质含量。

密                度:                                  手测法(千分尺、分析天平)。


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